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ESCALAB QXi Thermo Scientific: XPS Microprobe ad alta risoluzione con imaging quantitativo e capacità multi-tecnica. Sistema dual detector per spettroscopia e imaging parallelo.
Il Qtac100 per l’analisi LEIS (low Energy Ion Scattering)
Sistemi evaporazione Temescal FC-2000/BJD-2000: bell jar convertibili per R&D e produzione.
Sistemi deposizione Temescal FC-2800/BCD-2800: produzione industriale e R&D wafer 100-150mm.
Sistema Temescal UEFC-4900 Auratus: uniformità assoluta camera conica 49″, 25 wafer 150mm, maskless uniformity.
Sistema Temescal UEFC-5700: ultimate throughput 42 wafer 150mm, 21 wafer 200mm. Camera conica 57″.
Reattore al plasma da tavolo Colibrì
Reattore al plasma da tavolo TUCANO
Crogiuoli per cannone elettronico
Controller per cannoni elettronici multifunzione TemEBeam
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